高溫真空爐是指（zhǐ）熱處理（lǐ）工藝的全部和部分（fèn）在真空狀態下進行的。我國將真空（kōng）劃分為低、中、高和超高真空。目前大多數真空熱處理爐的工作真空度在1.33~1.33×10ˉ³Pa。 高溫真空爐幾乎可實現全部熱處（chù）理工藝，如淬火（huǒ）、退火、回火、滲碳、氮化，在淬火工（gōng）藝中可實現氣（qì）淬、油淬、硝鹽（yán）淬火、水淬等，還可以進行真空釺焊、燒結、表麵處理等。真空熱處理爐熱效率高，可實現快速（sù）升溫和降溫，可實現無氧化、無脫碳、無滲碳，可去掉（diào）工件表麵的磷屑，並有脫脂除氣等作用，從而達到表麵光亮淨化的效果。一般來說，被（bèi）處理的工件在爐（lú）內加熱緩（huǎn）慢，內熱溫差較（jiào）小，熱應力小（xiǎo），因而變形小。產品合格率高。可降低成本，有除氣作用，從（cóng）而（ér）提（tí）高了工作的機械性能和使用壽命。工作環境好，操（cāo）作安全，沒有汙染和（hé）公害。被處理的工件（jiàn）沒有氫脆危險，對鈦材和難熔金屬殼（ké）防止表麵氫脆，真空熱處理工藝的（de）穩定性和重複（fù）性好。這一係列的優點，開發真空熱處理設備（bèi）和工藝（yì）被越來越（yuè）重視和應用越來越（yuè）廣