高溫電爐真空係統

高溫電爐中直（zhí）空係（xì）統適用幹（gàn）真空度在3X10~~1333Pa範圍的真空熱處

理爐。中真空係統在真空熱處理爐中應用（yòng）最廣泛，其（qí）通常由兩級真空

泵機組組（zǔ）成。初級（jí）泵多采用旋（xuán）轉機械泵或（huò）滑閥式機械泵，主泵為機械

增壓泵(羅茨泵)或油增壓泵

高溫電爐高真空係統

高真空係統適用於真空度（dù）在6.6x10~~1333X10。Pa範圍的

高溫電爐真空熱處理爐，如真空退火爐、真空釺焊爐，通常由三級真空泵機組

組成，主（zhǔ）泵通常采用油擴散泵、離子泵，初級泵大都也（yě）是采用旋轉機

械泵或滑閥式機械泵。