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高溫電爐多晶矽生(shēng)產工藝

作者(zhě): 發布時(shí)間:2022-02-25 瀏覽次(cì)數:1344
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高溫電爐生產多晶(jīng)矽的核(hé)心設備,其采用鍾罩式反應(yīng)器高溫電(diàn)爐,將混合(hé)後的SiHCl3和H2從反應(yīng)器底部的眾多噴口噴入,SiHCl3和H2反應,非均向(xiàng)成核生成多晶矽沉積在矽芯表麵,逐漸長大成矽棒,生長(zhǎng)過程中矽棒表麵溫度1050~1100C。在(zài)非均(jun1)向成核進行的同時,SiHCl3和H2也發生均向成(chéng)核反應生成無定型矽粉,反應的程度主要取決於溫度、配比等方麵的因素。為避免均向成核產生(shēng)大量的矽(guī)粉,流體(tǐ)采用混流,即噴嘴引入冷(lěng)物(wù)流持續噴向高溫的矽棒表麵,避免局部溫度過高引發爆米花和(hé)大量矽粉的產生,這種模(mó)式(shì)也決定了(le)還原爐噴口直(zhí)噴、氣流底(dǐ)進底出的(de)現有模式。也正因為此,高溫進料(進料溫度高會引起大量矽粉)及平推式反應模型(比如噴口完全側噴、氣流底進頂出)都是會失敗的。

  高溫電爐流體(tǐ)力學模(mó)擬是個(gè)複雜的(de)計算過程,小編為了簡化(huà)說明問題,把複雜的計算和抽象(xiàng)的模擬舍棄,僅以幾個氣體射流基本公式來推理噴口流速的合理取值。

  氣體射流是流體力學基本的模型,當氣體從孔口或管嘴以一定的流速噴出後,由於射流為紊流流態,紊流的橫向脈動造成射流與周圍氣體發生動量交換,從而(ér)把(bǎ)相(xiàng)鄰的靜止流(liú)體卷吸到射流中來,兩者一起向前運動,於是射流的過流斷麵沿程不斷擴大,流量不斷增加。


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